这种设备采用电阻式加热,通过使用红外测温、温度控制等模块,可实现2400℃高温加热,配合纯化工艺可实现碳基材料的高纯度处理,是用于半导体碳基材料纯化的标准设备。为了降本增效,提高设备的市场竞争能力,该公司以科技创新为先导,向新质生产力要增长新动能,不仅自主建设了高温纯化实验室,石墨软毡连续式高温纯化装备项目还入选太原市鼓励企业研发试制填补国内空白重大新产品补助名单,公司承担的《SiC用石墨制品高温纯化设备研发及产业化应用》项目入选太原市“双百攻关行动”第一批揭榜挂帅项目,并入选省级“专精特新”企业和山西省2023年第三代半导体重点产业链“链核”企业。(贺娟芳)


